[1]
2010. Формування нанорозмірів структур мікроелектроніки. Вісник НТУУ "КПІ". Серія Радіотехніка, Радіоапаратобудування. 40 (Jan. 2010), 149–153. DOI:https://doi.org/10.20535/RADAP.2010.40.149-153.