Кисіль, О.С. «Формування нанорозмірів структур мікроелектроніки». Вісник НТУУ "КПІ". Серія Радіотехніка, Радіоапаратобудування0, no. 40 (Січень 25, 2010): 149-153. дата звернення Липень 23, 2024. https://radap.kpi.ua/radiotechnique/article/view/632.