Вимірювання коефіцієнта електромеханічного зв'язку тонких п'єзоелектричних плівок за допомогою установки лазерного зондування

Автор(и)

  • Ю. Н. Бородій Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • А. П. Запунний Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • В. К. Лопушенко Київський політехнічний інститут, м. Київ

Ключові слова:

коефіцієнт електромеханічного зв'язку, тонкі п'єзоелектричні плівки, лазерне зондування

Анотація

Запропоновано методику визначення коефіцієнта електромеханічного зв'язку тонких п'єзоелектричних плівок за допомогою установки лазерного зондування, що дозволило знизити похибка вимірювання до 5%. Наводяться експериментальні результати для плівки окису цинку на плавленому кварці і термостабільність склі С79-2. Іл. 1. Бібліогр .: 3 назв.

Біографії авторів

  • Ю. Н. Бородій, Київський політехнічний інститут, м. Київ
    Бородій Ю. Н., мол. наук. співр.

  • А. П. Запунний, Київський політехнічний інститут, м. Київ
    Запунний А. П., інж.

  • В. К. Лопушенко, Київський політехнічний інститут, м. Київ
    Лопушенко В. К., ст. наук. співр.

Посилання

Андреев А. С., Анисимкин В. И., Котелянский И. М. и др. Возбуждение поверхностных акустических волн в непьезоэлектриках встречно-шгыревыми преобразователями с пленками ZnO. – Микроэлектроника, 1980, т. 9, № 3, с. 277–279.

Гриц В. Г., Запунный А. П., Хаустов В. К. Измерение скорости поверхностных акустических волн оптическим фазочувствнтелъным методом. – Вестн. Киев. политехн. ин-та. Радиотехника, 1980, выл. 17, с. 51–53.

Каринский С. С. Устройства обработки сигналов на ультразвуковых поверхностных волнах. М., Сов. радио, 1975. 176 с.

Завантаження

Номер

№ 20 (1983)

Розділ

Articles