Вимірювання коефіцієнта електромеханічного зв'язку тонких п'єзоелектричних плівок за допомогою установки лазерного зондування

Автор(и)

  • Ю. Н. Бородій Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • А. П. Запунний Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • В. К. Лопушенко Київський політехнічний інститут, м. Київ

Ключові слова:

коефіцієнт електромеханічного зв'язку, тонкі п'єзоелектричні плівки, лазерне зондування

Анотація

Запропоновано методику визначення коефіцієнта електромеханічного зв'язку тонких п'єзоелектричних плівок за допомогою установки лазерного зондування, що дозволило знизити похибка вимірювання до 5%. Наводяться експериментальні результати для плівки окису цинку на плавленому кварці і термостабільність склі С79-2. Іл. 1. Бібліогр .: 3 назв.

Біографії авторів

Ю. Н. Бородій, Київський політехнічний інститут, м. Київ

Бородій Ю. Н., мол. наук. співр.

А. П. Запунний, Київський політехнічний інститут, м. Київ

Запунний А. П., інж.

В. К. Лопушенко, Київський політехнічний інститут, м. Київ

Лопушенко В. К., ст. наук. співр.

Посилання

Андреев А. С., Анисимкин В. И., Котелянский И. М. и др. Возбуждение поверхностных акустических волн в непьезоэлектриках встречно-шгыревыми преобразователями с пленками ZnO. – Микроэлектроника, 1980, т. 9, № 3, с. 277–279.

Гриц В. Г., Запунный А. П., Хаустов В. К. Измерение скорости поверхностных акустических волн оптическим фазочувствнтелъным методом. – Вестн. Киев. политехн. ин-та. Радиотехника, 1980, выл. 17, с. 51–53.

Каринский С. С. Устройства обработки сигналов на ультразвуковых поверхностных волнах. М., Сов. радио, 1975. 176 с.

##submission.downloads##

Номер

№ 20 (1983)

Розділ

Articles