Рентгеноструктурні і оптичні дослідження в технології отримання плівок окису цинку для перетворювачів поверхневих акустичних хвиль

Автор(и)

  • Г. І. Кальна Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • С. В. Огурцов Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • Н. Г. Кириленко Київський політехнічний інститут, м. Київ

Ключові слова:

рентгеноструктурні дослідження, технологія отримання плівок оксид цинку, поверхневі акустичні хвилі, ПАХ, перетворювачі

Анотація

Вивчено вплив механічних напружень у плівці окису цинку на властивостей а підкладки з плавленого кварцу. Визначено умови нанесення реактивним тріодний розпиленням плівок ZnO без залишкових пружних напружень. Іл. 1. Бібліогр .: 3 назв.

Біографії авторів

Г. І. Кальна, Київський політехнічний інститут, м. Київ

Кальна Г. І., кандидат фіз.-мат. наук

С. В. Огурцов, Київський політехнічний інститут, м. Київ

Огурцов С. В., кандидат фіз.-мат. наук

Н. Г. Кириленко, Київський політехнічний інститут, м. Київ

Кириленко Н. Г., студ.

Посилання

Гранкин И. М., Кальная Г. И., Погребняк В. П., Лопушенко В. К. Тонкая кристаллическая структура пленок окиси цинка, полученных ионно-плазменным распылением на постоянном токе. – Укр. физ. журн., 1981, т. 26, № 6, с. 1040–1042.

Уманский Я. С. Рентгенография металлов и полупроводников. М., Металлургия, 1969. 496 с.

Хикернелл Ф. Преобразователи поверхностных волн на тонких пленках окиси цинка.– ТИИЭР, 1976, т. 64, № 5, с. 70–76.

##submission.downloads##

Номер

№ 20 (1983)

Розділ

Articles