Фізичні методи дослідження обложених магнетронним розпиленням плівок ZnO

Автор(и)

  • Г. А. Галина Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • Г. И. Кальная Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • С. В. Огурцов Київський політехнічний інститут, м. Київ

Анотація

У технології отримання текстурованих плівок ZnO для пристроїв на ПАР застосовані рентгеноструктурний і оптичний методи дослідження. Вивчено вплив механічних напружень у плівці на властивості підкладки. Визначено умови одержання магнетронним розпиленням рівноважних плівок ZnO.

Біографії авторів

Г. А. Галина, Київський політехнічний інститут, м. Київ

Галина Г. А., мол. наук. співр.


Г. И. Кальная, Київський політехнічний інститут, м. Київ

Кальная Г. И., канд. фіз.-мат. наук

С. В. Огурцов, Київський політехнічний інститут, м. Київ

Огурцов С. В., канд. фіз.-мат. наук

Посилання

Хикернелл Ф. Преобразователи поверхностных волн на тонких пленках окиси цинка // ТИИЭР. 1976. Т. 64, № 5. С. 70-76.

##submission.downloads##

Номер

№ 23 (1986)

Розділ

Articles