Порушення поверхнево акустичних хвиль у плавленому кварці ВШП з плівками ZnO і кристалічний стан плівок

Автор(и)

  • Г. А. Галіна Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • Г. І. Кальна Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • М. М. Прищепа Київський політехнічний інститут, м. Київ

Ключові слова:

плівки окису цинку, кристалічний стан, перетворювачі ПАХ, поверхневі акустичні хвилі

Анотація

Досліджено вплив кристалічного стану плівок окису цинку на ефективність перетворювачів ПАХ на їх основі.

Біографії авторів

  • Г. А. Галіна, Київський політехнічний інститут, м. Київ
    Галіна Г. А., мол. наук. співр.
  • Г. І. Кальна, Київський політехнічний інститут, м. Київ
    Кальна Г. І., канд. фіз.-мат. наук
  • М. М. Прищепа, Київський політехнічний інститут, м. Київ
    Прищепа М. М., канд. техн. наук

Посилання

Хикернелл Ф. Преобразователи поверхностных акустических волн на тонких пленках окиси цинка // ТИИЭР. 1976. Т. 64, № 5. С. 70-76.

Yamam oto Т., Shiosaki Т., K aw abata A. Characterization of ZnO piezoelectric films prepared by rf planar – magnetron sputtering // J. Appl. Phys. 1980. Vol. 51,N 6. P. 3113.

Kino G. S., Wagers R. S. Theory of interdidital couplers on nonpiezoelectric substrates // Ibid. 1973. Vol. 44. P. 1480-1483.

Завантаження

Номер

№ 25 (1988)

Розділ

Articles