ТЕХНОЛОГІЯ НЕОРГАНІЧНОЇ ФОТОЛІТОГРАФІЇ

Автор(и)

  • А. В.  КОЛОМЕЙКО Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • В. К. ЛОПУШЕНКО Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • В. О. Піддубний Київський політехнічний інститут, м. Київ

Анотація

Наводяться дані по дослідженню можливості використання нових світлочутливих матеріалів систем напівпровідник - метал для фотолітографії.

Біографії авторів

А. В.  КОЛОМЕЙКО, Київський політехнічний інститут, м. Київ

КОЛОМЕЙКО А. В. , ст. наук. співр.

В. К. ЛОПУШЕНКО, Київський політехнічний інститут, м. Київ

ЛОПУШЕНКО В. К., ст. інж.

В. О. Піддубний, Київський політехнічний інститут, м. Київ

Піддубний В. О., асп.

##submission.downloads##

Номер

№ 16 (1979)

Розділ

Articles