Н.М. Прищепа
Київський політехнічний інститут, м. Київ
Ключові слова:
технологічний процес, метод оптимізації, виробництва інтегральних мікросхем
Анотація
Запропоновано метод оптимізації технологічних процесів, що відрізняються великою тривалістю виробничого циклу, дрейфом основних показників - критеріїв придатності виробів виробництва - і великим числом некерованих технологічних факторів. Метод був випробуваний для оптимізації технологічного процесу виробництва інтегральних мікросхем і показав значну ефективність.
Біографія автора
Н.М. Прищепа, Київський політехнічний інститут, м. Київ