Дослідження електропровідності та корозійної стійкості мідних плівок, нанесених термоіонним напиленням

Анотація

Проведено дослідження електропровідності плівок міді на постійному струмі та при передачі НВЧ-сигналів. Показано, що електропровідність плівок наближається до електропровідності масивних зразків, а затухання НВЧ-сигналу значно менше ніж дія відповідних структур, сформованих електронним випаровуванням та магнетронним розпиленням. Корозійна стійкість плівок в 2-4 рази перевищує стійкість плівок, нанесених названими методами.