ТЕХНОЛОГІЯ НЕОРГАНІЧНОЇ ФОТОЛІТОГРАФІЇ

Автор(и)

  • А. В.  КОЛОМЕЙКО Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • В. К. ЛОПУШЕНКО Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • В. О. Піддубний Київський політехнічний інститут, м. Київ

Анотація

Наводяться дані по дослідженню можливості використання нових світлочутливих матеріалів систем напівпровідник - метал для фотолітографії.

Завантажити

Дані для завантаження поки недоступні.

Біографії авторів

  • автор А. В.  КОЛОМЕЙКО, афіліація Київський політехнічний інститут, м. Київ
    КОЛОМЕЙКО А. В. , ст. наук. співр.
  • автор В. К. ЛОПУШЕНКО, афіліація Київський політехнічний інститут, м. Київ
    ЛОПУШЕНКО В. К., ст. інж.
  • автор В. О. Піддубний, афіліація Київський політехнічний інститут, м. Київ
    Піддубний В. О., асп.

Завантаження

Номер

№ 16 (1979)

Розділ

Articles