ТЕХНОЛОГІЯ НЕОРГАНІЧНОЇ ФОТОЛІТОГРАФІЇ Автор(и) А. В. КОЛОМЕЙКО Київський політехнічний інститут, м. Київ В. К. ЛОПУШЕНКО Київський політехнічний інститут, м. Київ В. О. Піддубний Київський політехнічний інститут, м. Київ Анотація Наводяться дані по дослідженню можливості використання нових світлочутливих матеріалів систем напівпровідник - метал для фотолітографії. Біографії авторів автор А. В. КОЛОМЕЙКО, афіліація Київський політехнічний інститут, м. Київ КОЛОМЕЙКО А. В. , ст. наук. співр. автор В. К. ЛОПУШЕНКО, афіліація Київський політехнічний інститут, м. Київ ЛОПУШЕНКО В. К., ст. інж. автор В. О. Піддубний, афіліація Київський політехнічний інститут, м. Київ Піддубний В. О., асп. Завантаження PDF (російська) Номер № 16 (1979) Розділ Articles
