Провідає експериментальні дослідження впливу оптимізації технологічного процесу дифузії при формуванні областей витоку і стоку МОП транзистора на основні електричні параметри і надійність мікросхеми.
Біографії авторів
автор Н.М. Прищепа, афіліація Київський політехнічний інститут, м. Київ
Прищепа Н.М., канд. техн. наук, доц ..
автор С.Н. Деменін, афіліація Київський політехнічний інститут, м. Київ
