“Формування нанорозмірів структур мікроелектроніки”. Вісник НТУУ "КПІ". Серія Радіотехніка, Радіоапаратобудування, no. 40 (January 25, 2010): 149–153. Accessed April 3, 2025. https://radap.kpi.ua/radiotechnique/article/view/632.