Порушення поверхнево акустичних хвиль у плавленому кварці ВШП з плівками ZnO і кристалічний стан плівок

  • Г. А. Галіна Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • Г. І. Кальна Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • М. М. Прищепа Київський політехнічний інститут, м. Київ
Ключові слова: плівки окису цинку, кристалічний стан, перетворювачі ПАХ, поверхневі акустичні хвилі

Анотація

Досліджено вплив кристалічного стану плівок окису цинку на ефективність перетворювачів ПАХ на їх основі.

Біографії авторів

Г. А. Галіна, Київський політехнічний інститут, м. Київ
Галіна Г. А., мол. наук. співр.
Г. І. Кальна, Київський політехнічний інститут, м. Київ
Кальна Г. І., канд. фіз.-мат. наук
М. М. Прищепа, Київський політехнічний інститут, м. Київ
Прищепа М. М., канд. техн. наук

Посилання

Хикернелл Ф. Преобразователи поверхностных акустических волн на тонких пленках окиси цинка // ТИИЭР. 1976. Т. 64, № 5. С. 70-76.

Yamam oto Т., Shiosaki Т., K aw abata A. Characterization of ZnO piezoelectric films prepared by rf planar – magnetron sputtering // J. Appl. Phys. 1980. Vol. 51,N 6. P. 3113.

Kino G. S., Wagers R. S. Theory of interdidital couplers on nonpiezoelectric substrates // Ibid. 1973. Vol. 44. P. 1480-1483.

Номер
Розділ
Articles