Властивості плівок окису цинку на підкладках з плавленого кварцу

Автор(и)

  • В. П. Погребняк Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • А. В. Машинець Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • С. В. Пашкевич Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • В. А. Шаталов Київський політехнічний інститут, м. Київ

Ключові слова:

плівка окису цинку, підкладка з плавленого кварцу, коефіцієнта електромеханічного зв'язку, швидкість розповсюдження поверхневої акустичної хвилі

Анотація

Розглянуто результати дослідження шаруватих систем тонка плівка окису цинку - не п'єзоелектрична підкладка з плавленого кварцу. Визначено залежності коефіцієнта електромеханічного зв'язку і швидкості розповсюдження поверхневої акустичної хвилі від значення нормованої до довжини хвилі товщини плівки окису цинку. Наведено експериментальні дані. Іл. 2. Бібліогр .: 2 назв.

Біографії авторів

В. П. Погребняк, Київський політехнічний інститут, м. Київ

Погребняк В. П., мл. науч. співр.

А. В. Машинець, Київський політехнічний інститут, м. Київ

Машинець А. В., студ.

С. В. Пашкевич, Київський політехнічний інститут, м. Київ

Пашкевич С. В., студ.

В. А. Шаталов, Київський політехнічний інститут, м. Київ

Шаталов В. А., студ.

Посилання

Гранкия И. М., Лопушенко В. К., Кальная Г. И. Технология получения высокоориентированных тонких пленок окиси цинка. – Микроминиатюризация

радиоэлектронных устройств, 1979, вып. 2, с. 75-79.

Kino G. S., Wagers R. S. Theori of interdigital couplers of nonpizoelectric substrates. – J. Appl. Phys. 1973, April, vol. 44, No. 4, p. 1480-1488.

##submission.downloads##

Номер

№ 20 (1983)

Розділ

Articles