Властивості плівок окису цинку на підкладках з плавленого кварцу

Автор(и)

  • В. П. Погребняк Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • А. В. Машинець Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • С. В. Пашкевич Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • В. А. Шаталов Київський політехнічний інститут, м. Київ

Ключові слова:

плівка окису цинку, підкладка з плавленого кварцу, коефіцієнта електромеханічного зв'язку, швидкість розповсюдження поверхневої акустичної хвилі

Анотація

Розглянуто результати дослідження шаруватих систем тонка плівка окису цинку - не п'єзоелектрична підкладка з плавленого кварцу. Визначено залежності коефіцієнта електромеханічного зв'язку і швидкості розповсюдження поверхневої акустичної хвилі від значення нормованої до довжини хвилі товщини плівки окису цинку. Наведено експериментальні дані. Іл. 2. Бібліогр .: 2 назв.

Біографії авторів

  • В. П. Погребняк, Київський політехнічний інститут, м. Київ
    Погребняк В. П., мл. науч. співр.
  • А. В. Машинець, Київський політехнічний інститут, м. Київ
    Машинець А. В., студ.
  • С. В. Пашкевич, Київський політехнічний інститут, м. Київ
    Пашкевич С. В., студ.
  • В. А. Шаталов, Київський політехнічний інститут, м. Київ
    Шаталов В. А., студ.

Посилання

Гранкия И. М., Лопушенко В. К., Кальная Г. И. Технология получения высокоориентированных тонких пленок окиси цинка. – Микроминиатюризация

радиоэлектронных устройств, 1979, вып. 2, с. 75-79.

Kino G. S., Wagers R. S. Theori of interdigital couplers of nonpizoelectric substrates. – J. Appl. Phys. 1973, April, vol. 44, No. 4, p. 1480-1488.

Завантаження

Номер

№ 20 (1983)

Розділ

Articles