Izmerenie koeffitsienta elektromekhanicheskoi svyazi tonkikh p'ezoelektricheskikh plenok s pomoshch'yu ustanovki lazernogo zondirovaniya [Measurement of electromechanical coupling coefficient of piezoelectric thin films by setting the laser sensing]

Authors

  • Yu. N. Borodii Kiev Politechnic Institute, Kiev
  • A. P. Zapunnyi Kiev Politechnic Institute, Kiev
  • V. K. Lopushenko Kiev Politechnic Institute, Kiev

Keywords:

electromechanical coupling coefficient, piezoelectric thin film, laser sensing

Abstract

A method for determining the electromechanical coupling coefficient of piezoelectric thin films by setting the laser probing, thus reducing the measurement error of up to 5%. Experimental results for a film of zinc oxide on the thermal stability of fused quartz and glass S79-2.

Author Biographies

  • Yu. N. Borodii, Kiev Politechnic Institute, Kiev
    Borodii Yu. N.
  • A. P. Zapunnyi, Kiev Politechnic Institute, Kiev
    Zapunnyi A. P.
  • V. K. Lopushenko, Kiev Politechnic Institute, Kiev
    Lopushenko V. K.

References

Андреев А. С., Анисимкин В. И., Котелянский И. М. и др. Возбуждение поверхностных акустических волн в непьезоэлектриках встречно-шгыревыми преобразователями с пленками ZnO. – Микроэлектроника, 1980, т. 9, № 3, с. 277–279.

Гриц В. Г., Запунный А. П., Хаустов В. К. Измерение скорости поверхностных акустических волн оптическим фазочувствнтелъным методом. – Вестн. Киев. политехн. ин-та. Радиотехника, 1980, выл. 17, с. 51–53.

Каринский С. С. Устройства обработки сигналов на ультразвуковых поверхностных волнах. М., Сов. радио, 1975. 176 с.

Downloads

Issue

No. 20 (1983)

Section

Articles