Izmerenie koeffitsienta elektromekhanicheskoi svyazi tonkikh p'ezoelektricheskikh plenok s pomoshch'yu ustanovki lazernogo zondirovaniya [Measurement of electromechanical coupling coefficient of piezoelectric thin films by setting the laser sensing]

Authors

  • Yu. N. Borodii Kiev Politechnic Institute, Kiev
  • A. P. Zapunnyi Kiev Politechnic Institute, Kiev
  • V. K. Lopushenko Kiev Politechnic Institute, Kiev

Keywords:

electromechanical coupling coefficient, piezoelectric thin film, laser sensing

Abstract

A method for determining the electromechanical coupling coefficient of piezoelectric thin films by setting the laser probing, thus reducing the measurement error of up to 5%. Experimental results for a film of zinc oxide on the thermal stability of fused quartz and glass S79-2.

Author Biographies

Yu. N. Borodii, Kiev Politechnic Institute, Kiev

Borodii Yu. N.

A. P. Zapunnyi, Kiev Politechnic Institute, Kiev

Zapunnyi A. P.

V. K. Lopushenko, Kiev Politechnic Institute, Kiev

Lopushenko V. K.

References

Андреев А. С., Анисимкин В. И., Котелянский И. М. и др. Возбуждение поверхностных акустических волн в непьезоэлектриках встречно-шгыревыми преобразователями с пленками ZnO. – Микроэлектроника, 1980, т. 9, № 3, с. 277–279.

Гриц В. Г., Запунный А. П., Хаустов В. К. Измерение скорости поверхностных акустических волн оптическим фазочувствнтелъным методом. – Вестн. Киев. политехн. ин-та. Радиотехника, 1980, выл. 17, с. 51–53.

Каринский С. С. Устройства обработки сигналов на ультразвуковых поверхностных волнах. М., Сов. радио, 1975. 176 с.

Downloads

Issue

No. 20 (1983)

Section

Articles