Rentgenostrukturnye i opticheskie issledovaniya v tekhnologii polucheniya plenok okisi tsinka dlya preobrazovatelei poverkhnostnykh akusticheskikh voln [X-ray diffraction and optical studies in the technology of ZnO films for surface acoustic wave transdu

Authors

  • G. I. Kal'naya Kiev Politechnic Institute, Kiev
  • S. V. Ogurtsov Kiev Politechnic Institute, Kiev
  • N. G. Kirilenko Kiev Politechnic Institute, Kiev

Keywords:

X-ray diffraction studies, technology for producing ZnO films, surface acoustic wave, Converters

Abstract

The influence of mechanical stresses in the film of zinc oxide on the properties of a substrate made of fused quartz. The conditions for the application of reactive triode sputtering ZnO films without residual elastic stresses.

Author Biographies

G. I. Kal'naya, Kiev Politechnic Institute, Kiev

Kal'naya G. I.

S. V. Ogurtsov, Kiev Politechnic Institute, Kiev

Ogurtsov S. V.

N. G. Kirilenko, Kiev Politechnic Institute, Kiev

Kirilenko N. G.

References

Гранкин И. М., Кальная Г. И., Погребняк В. П., Лопушенко В. К. Тонкая кристаллическая структура пленок окиси цинка, полученных ионно-плазменным распылением на постоянном токе. – Укр. физ. журн., 1981, т. 26, № 6, с. 1040–1042.

Уманский Я. С. Рентгенография металлов и полупроводников. М., Металлургия, 1969. 496 с.

Хикернелл Ф. Преобразователи поверхностных волн на тонких пленках окиси цинка.– ТИИЭР, 1976, т. 64, № 5, с. 70–76.

Downloads

Issue

No. 20 (1983)

Section

Articles