Фізичні методи дослідження обложених магнетронним розпиленням плівок ZnO

Authors

  • G. A. Galina Kiev Politechnic Institute, Kiev
  • G. I. Kal'naya Kiev Politechnic Institute, Kiev
  • S. V. Ogurtsov Kiev Politechnic Institute, Kiev

Abstract

У технології отримання текстурованих плівок ZnO для пристроїв на ПАР застосовані рентгеноструктурний і оптичний методи дослідження. Вивчено вплив механічних напружень у плівці на властивості підкладки. Визначено умови одержання магнетронним розпиленням рівноважних плівок ZnO.

Author Biographies

G. A. Galina, Kiev Politechnic Institute, Kiev

Galina G. A.


G. I. Kal'naya, Kiev Politechnic Institute, Kiev

Kal'naya G. I.


S. V. Ogurtsov, Kiev Politechnic Institute, Kiev

Ogurtsov S. V.

References

Хикернелл Ф. Преобразователи поверхностных волн на тонких пленках окиси цинка // ТИИЭР. 1976. Т. 64, № 5. С. 70-76.

Downloads

Issue

No. 23 (1986)

Section

Articles