SURFACE-ACOUSTIC-WAVE FILTER USING THIN-FILM OF Z IN C OXIDE
Abstract
This paper describes the structure and electrical properties of SAW filters, using thin-film of ZnO.
References
Коломейко А. В., Лопушенко В. К-, Поддубный В. А. Технология неорганической фотолитографии.— Вести. Киев, политехи, ин-та. «Радиотехника», 1979,вып. 16, с. 95—96.
Поддубный В. А., Акименко Н. Г., Биденко В. А. Примененение весовых функций при расчете полосовых фильтров на поверхностных акустических волнах.— Вести. Киев, политехи, ин-та. «Радиотехника», 1979, вып. 16,
с. 76— 77.
Хикернелл Ф. С. Преобразователи поверхностных волн на тонких пленках окиси цинка.— ТИИЭР, 1976, № 5, с. 70—76.
Downloads
Issue
Section
Articles