Rentgenostrukturnye i opticheskie issledovaniya v tekhnologii polucheniya plenok okisi tsinka dlya preobrazovatelei poverkhnostnykh akusticheskikh voln [X-ray diffraction and optical studies in the technology of ZnO films for surface acoustic wave transdu

Authors

  • G. I. Kal'naya Kiev Politechnic Institute, Kiev
  • S. V. Ogurtsov Kiev Politechnic Institute, Kiev
  • N. G. Kirilenko Kiev Politechnic Institute, Kiev

Keywords:

X-ray diffraction studies, technology for producing ZnO films, surface acoustic wave, Converters

Abstract

The influence of mechanical stresses in the film of zinc oxide on the properties of a substrate made of fused quartz. The conditions for the application of reactive triode sputtering ZnO films without residual elastic stresses.

Author Biographies

  • G. I. Kal'naya, Kiev Politechnic Institute, Kiev
    Kal'naya G. I.
  • S. V. Ogurtsov, Kiev Politechnic Institute, Kiev
    Ogurtsov S. V.
  • N. G. Kirilenko, Kiev Politechnic Institute, Kiev
    Kirilenko N. G.

References

Гранкин И. М., Кальная Г. И., Погребняк В. П., Лопушенко В. К. Тонкая кристаллическая структура пленок окиси цинка, полученных ионно-плазменным распылением на постоянном токе. – Укр. физ. журн., 1981, т. 26, № 6, с. 1040–1042.

Уманский Я. С. Рентгенография металлов и полупроводников. М., Металлургия, 1969. 496 с.

Хикернелл Ф. Преобразователи поверхностных волн на тонких пленках окиси цинка.– ТИИЭР, 1976, т. 64, № 5, с. 70–76.

Downloads

Issue

No. 20 (1983)

Section

Articles