Рентгеноструктурні і оптичні дослідження в технології отримання плівок окису цинку для перетворювачів поверхневих акустичних хвиль

Автор(и)

  • Г. І. Кальна Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • С. В. Огурцов Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • Н. Г. Кириленко Київський політехнічний інститут, м. Київ

Ключові слова:

рентгеноструктурні дослідження, технологія отримання плівок оксид цинку, поверхневі акустичні хвилі, ПАХ, перетворювачі

Анотація

Вивчено вплив механічних напружень у плівці окису цинку на властивостей а підкладки з плавленого кварцу. Визначено умови нанесення реактивним тріодний розпиленням плівок ZnO без залишкових пружних напружень. Іл. 1. Бібліогр .: 3 назв.

Біографії авторів

  • Г. І. Кальна, Київський політехнічний інститут, м. Київ
    Кальна Г. І., кандидат фіз.-мат. наук
  • С. В. Огурцов, Київський політехнічний інститут, м. Київ
    Огурцов С. В., кандидат фіз.-мат. наук
  • Н. Г. Кириленко, Київський політехнічний інститут, м. Київ
    Кириленко Н. Г., студ.

Посилання

Гранкин И. М., Кальная Г. И., Погребняк В. П., Лопушенко В. К. Тонкая кристаллическая структура пленок окиси цинка, полученных ионно-плазменным распылением на постоянном токе. – Укр. физ. журн., 1981, т. 26, № 6, с. 1040–1042.

Уманский Я. С. Рентгенография металлов и полупроводников. М., Металлургия, 1969. 496 с.

Хикернелл Ф. Преобразователи поверхностных волн на тонких пленках окиси цинка.– ТИИЭР, 1976, т. 64, № 5, с. 70–76.

Завантаження

Номер

№ 20 (1983)

Розділ

Articles