Фізичні методи дослідження обложених магнетронним розпиленням плівок ZnO

Authors

  • G. A. Galina Kiev Politechnic Institute, Kiev
  • G. I. Kal'naya Kiev Politechnic Institute, Kiev
  • S. V. Ogurtsov Kiev Politechnic Institute, Kiev

Abstract

У технології отримання текстурованих плівок ZnO для пристроїв на ПАР застосовані рентгеноструктурний і оптичний методи дослідження. Вивчено вплив механічних напружень у плівці на властивості підкладки. Визначено умови одержання магнетронним розпиленням рівноважних плівок ZnO.

Author Biographies

  • G. A. Galina, Kiev Politechnic Institute, Kiev

    Galina G. A.


  • G. I. Kal'naya, Kiev Politechnic Institute, Kiev

    Kal'naya G. I.


  • S. V. Ogurtsov, Kiev Politechnic Institute, Kiev
    Ogurtsov S. V.

References

Хикернелл Ф. Преобразователи поверхностных волн на тонких пленках окиси цинка // ТИИЭР. 1976. Т. 64, № 5. С. 70-76.

Downloads

Issue

No. 23 (1986)

Section

Articles