Фізичні методи дослідження обложених магнетронним розпиленням плівок ZnO

Автор(и)

  • Г. А. Галина Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • Г. И. Кальная Київський політехнічний інститут, м. Київ
  • С. В. Огурцов Київський політехнічний інститут, м. Київ

Анотація

У технології отримання текстурованих плівок ZnO для пристроїв на ПАР застосовані рентгеноструктурний і оптичний методи дослідження. Вивчено вплив механічних напружень у плівці на властивості підкладки. Визначено умови одержання магнетронним розпиленням рівноважних плівок ZnO.

Біографії авторів

  • Г. А. Галина, Київський політехнічний інститут, м. Київ

    Галина Г. А., мол. наук. співр.


  • Г. И. Кальная, Київський політехнічний інститут, м. Київ

    Кальная Г. И., канд. фіз.-мат. наук

  • С. В. Огурцов, Київський політехнічний інститут, м. Київ
    Огурцов С. В., канд. фіз.-мат. наук

Посилання

Хикернелл Ф. Преобразователи поверхностных волн на тонких пленках окиси цинка // ТИИЭР. 1976. Т. 64, № 5. С. 70-76.

Завантаження

Номер

№ 23 (1986)

Розділ

Articles