ТЕХНОЛОГІЯ НЕОРГАНІЧНОЇ ФОТОЛІТОГРАФІЇ Автор(и) А. В. КОЛОМЕЙКО Київський політехнічний інститут, м. Київ В. К. ЛОПУШЕНКО Київський політехнічний інститут, м. Київ В. О. Піддубний Київський політехнічний інститут, м. Київ Анотація Наводяться дані по дослідженню можливості використання нових світлочутливих матеріалів систем напівпровідник - метал для фотолітографії. Біографії авторів А. В. КОЛОМЕЙКО, Київський політехнічний інститут, м. Київ КОЛОМЕЙКО А. В. , ст. наук. співр. В. К. ЛОПУШЕНКО, Київський політехнічний інститут, м. Київ ЛОПУШЕНКО В. К., ст. інж. В. О. Піддубний, Київський політехнічний інститут, м. Київ Піддубний В. О., асп. Завантаження PDF (Російська) Номер № 16 (1979) Розділ Articles
