Нитчасті кристали кремнію-германію як чутливі елементи сенсорів деформації, працездатні в складних умовах експлуатації
DOI:
https://doi.org/10.20535/RADAP.2013.54.126-135Ключові слова:
кремній-германій, нитчасті кристали, , перехід метал-діелектрик, деформація, сенсор, мікроконтролерАнотація
На основі експериментальних досліджень встановлено, що деформовані стиском мікрокристали Si1-хGeх (х = 0,01÷0,03) з питомим опором ρ300 = 0,016 Ом см можуть бути використані як чутливі елементи сенсорів механічних величин, працездатні за кріогенних температур. Створено вимірювальну систему з використанням чутливих елементів сенсорів на основі нитчастих кристалів Si1-xGex із одночасною корекцію їх температурних залежностей, що дозволить враховувати температурну залежність коефіцієнта тензочутливості при зміні температури середовища.Посилання
Дружинин А.А. О возможности создания высокочувствительных пьезорезистивных сенсоров механических величин для криогенных температур / А.А. Дружинин, И.И. Марьямова, А.П. Кутраков, И.В. Павловский // Датчики и сиcтемы. – 2005. – № 7. – С. 17-21.
Druzhinin A. Study of piezoresistance in GexSi1-x whiskers for sensor application / A. Druzhinin, I. Ostrovskii , N. Liakh // Materials Science in Semiconductor Processing. – 2005. – № 8. – P.193-196.
Bhatt R.N. Stress dependence of the metal-insulator transition in doped semiconductors / Phys. Rev. – 1982. – Vol. B26, № 2. – P. 1082–1085.
Bogdanovich S. Hopping conduction in uniaxially stressed Si:B near the insulator-metal transition / S. Bogdanovich, D. Simonian, S.V. Kravchenko // Phys. Rev. – 1999. – Vol. B60, № 4. – P. 2286–2290.
http://ww1.microchip.com/downloads/en/DeviceDoc/39662c.pdf
http://www.analog.com/static/imp.-files/Data_Sheets/AD77987799.pdf
Завантаження
Номер
Розділ
Ліцензія
1. Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у нашому журналі.
2. Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована нашим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у нашому журналі.
3. Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення рукопису роботи авторами в мережі Інтернет (наприклад, на arXiv.org або на особистих веб-сайтах). Причому рукописи статей можуть бути розміщенні у відкритих архівах як до подання рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання. Це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії, позитивно позначається на оперативності ознайомлення наукової спільноти з результатами Ваших досліджень і як наслідок на динаміці цитування вже опублікованої у журналі роботи. Детальніше про це: The Effect of Open Access.
